喜開理（中國）有限公司
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既保持了高真空閥原本的可靠性，還能進行可實現多種工藝的壓力控制。行業半導體制造工序（前工序）半導體制造工序（后工序）
【可進行緩慢排氣控制】
與通常的ON/OFF真空閥和兩段排氣真空閥相比，實現了固定比率的緩慢排氣。
【新增壓力控制功能】
以可靠性高的真空閥為基礎，增加壓力控制功能。
真空時的壓力調節無需減壓閥和可變漏閥。
通過采用截止閥方式，以O形圈密封結構實現了蝶閥不擅長的全閉動作。
【維護簡便】
閥和電裝部可分別維護。
| 型號 | 名稱 | 配管方式 | 備注 |
|---|---|---|---|
| IAVB※17 | 真空壓力控制系統 | NW16, 25, 40, 50 | |
| IAVB-CONT | IAVB用控制器 | - |
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